В условиях вакуума мишень для нанесения покрытия нагревается и испаряется с помощью таких методов, как резистивный нагрев и бомбардировка электронным пучком. Молекулы мишени покидают покрытие и мигрируют с поверхности подложки, осаждаясь и образуя тонкую пленку.
Подробности дела
Вакуумное нанесение фотоэлектрического перовскита В условиях вакуума мишень для нанесения покрытия нагревается и испаряется с помощью таких методов, как резистивный нагрев и бомбардировка электронным пучком. Молекулы мишени покидают покрытие и мигрируют с поверхности подложки, осаждаясь и образуя тонкую пленку.
Вызовы, стоящие перед отраслью Использование нескольких конфигураций насосов увеличивает энергопотребление. Низкая эффективность в двухступенчатых режимах при давлении 10 Па и 10⁻⁴ Па.
Стабильная передача несущей. Высокие требования к синхронизации сервоприводов при передаче несущей.
Снижение затрат и повышение эффективности основной системы управления. Большое количество осей, сложность системы и высокие требования к стабильности оборудования.
Особенности решения Оптимизированный процесс вакуумного напыления. Вакуумный переход разделен на три этапа: 1000 Па, 1 Па и 10⁻⁴ Па. Эффективность откачки насоса Рутса максимизируется в диапазоне 1000–1 Па, что снижает количество насосов, необходимых в низковакуумной секции оборудования, тем самым уменьшая энергопотребление и экономя средства.
Двухвальный сервомотор обеспечивает стабильную передачу. Многофункциональные сервоприводы помогают клиентам сократить занимаемое ими пространство в распределительных шкафах, а встроенная синхронизация гарантирует стабильную передачу сигнала.
Полная замена отечественной системы. Комплексное решение Leadsai, включающее ПЛК + сервопривод + шаговый двигатель + модуль ввода-вывода, снижает затраты и повышает эффективность.
Реализация ценности Комплексное решение от Zhongping Motor обеспечивает стандартизированный процесс разработки, помогая клиентам сократить время разработки.
Тщательная разработка технологического процесса и оптимизированные алгоритмы перемещения позволяют повысить однородность толщины пленки на 1%.
