Установка для загрузки и выгрузки фотоэлектрических элементов PVD и RPD является оборудованием для загрузки и выгрузки в процессе изготовления проводящих пленок TCO компании HJT. Изготовление проводящей пленки TCO методом PVD представляет собой двухсторонний процесс осаждения и является третьим этапом в процессе HJT, требующим высокой точности. Теоретическая точность зазора между подложкой и кремниевой пластиной составляет 0,1 мм, но на практике достаточно зазора в пределах 0,2 мм.
Подробности дела
Автоматизированная погрузка и разгрузка HJT Установка для загрузки и выгрузки фотоэлектрических элементов PVD и RPD является оборудованием для загрузки и выгрузки в процессе изготовления проводящих пленок TCO компании HJT. Изготовление проводящей пленки TCO методом PVD представляет собой двухсторонний процесс осаждения и является третьим этапом в процессе HJT, требующим высокой точности. Теоретическая точность зазора между подложкой и кремниевой пластиной составляет 0,1 мм, но на практике достаточно зазора в пределах 0,2 мм. Установка для загрузки и выгрузки транспортирует кремниевые пластины к месту захвата зажимом с помощью ленточного конвейера. После того, как зажим зажимает кремниевые пластины, они помещаются в слот для хранения пластин на подложке, а затем подложка с кремниевыми пластинами отправляется в технологическую камеру для осаждения пленки.
Вызовы, стоящие перед отраслью Трудности в улучшении коррекции КТ (циклического поперечного сечения), длительные циклы отладки.
В настоящее время цикл обработки на отечественном оборудовании обычно превышает 1,8 секунды. Клиенты ожидают, что этот показатель превысит 0,7 секунды, а точность позиционирования подложки должна быть < ±0,15 мм для повышения конкурентоспособности в отрасли.
Компактные размеры и громоздкая проводка затрудняют пайку и поиск неисправностей. Многочисленные драйверы и сетевые кабели, большой батарейный отсек с высокой емкостью, требующий сложной пайки, занимают значительное пространство в корпусе и влекут за собой высокие затраты на рабочую силу и проводку; клиенты стремятся к решениям, экономящим место, время и трудозатраты.
Высокая общая стоимость и низкая эффективность отладки. Большое количество осей, требующих выравнивания, увеличивает затраты на управление, в то время как эффективность отладки остается низкой, а поиск и устранение неисправностей затруднены.
Особенности решения Технология однократной юстировки и коррекции. Эта технология оптимизирует исходный двухэтапный процесс получения изображений и двухэтапной коррекции, сводя его к одноэтапному процессу получения изображений и коррекции, что уменьшает количество перемещений по осям XYθ на платформе юстировки и значительно сокращает время цикла работы оборудования.
Универсальный продукт, изготовленный на заказ.
Решите проблемы, связанные с ограниченным пространством в электрощитах, громоздкой проводкой и сложной диагностикой неисправностей.
Создание ценности Четыре привода, установленные в одном батарейном отсеке, позволяют сэкономить 75% на трудозатратах и материалах (привод + батарейный отсек + шнур питания + коммуникационный кабель).
Привод для выравнивания по одной-четырём осям, шириной всего 40 мм (размер одноосевого привода), позволяющий сэкономить более 50% пространства.
В данной конфигурации используется решение на основе шагового двигателя и сервопривода, что позволяет сэкономить 30% от общей стоимости и более 50% на занимаемом пространстве.
Расширенные возможности управления осями, до 128 осей.
В XYZR используется один микроконтроллер, что обеспечивает более быструю реакцию системы и улучшение производительности на 30%.
